膜厚計（小坂研究所・ET4000AKR）

【用途・特徴】
薄膜の厚さ測定。表面粗さ測定（３次元）

メーカー名

株式会社小坂研究所

型番

ET4000AKR

仕様

サンプルサイズ：210×210×50mmt
Ｘ軸（測定長）：100mm
スケール分解能：0.01μm
Ｙ２軸（連続測定長）：10mm
ステップ量：0.1μm
Ｚ軸（上下動）52mm
検出器：最大範囲　100μm
測定力　0.5μN～500μN
分解能　0.1nm（±3.2μmレンジ）

ご利用方法

試験計測（依頼試験）、機器使用で利用できます

料金について

■ 試験計測（依頼試験）料金

料金についてはお問い合わせください。

膜厚測定

料金NO.	項目	単位	料金	担当部名
E1050	膜厚測定	１試料１測定点につき	5,830円	電子技術部

三次元微細形状測定

料金NO.	項目	単位	料金	担当部名
E1051	三次元微細形状測定	標準１測定当たり	12,540円	電子技術部

■ 機器使用料金 （特に表記のない場合は、1時間当たりの料金となります。）

料金NO.	設備機器名	メーカー・型式	使用料	担当部名
E8150	膜厚計	小坂研究所　ET4000AKR	2,860円	電子技術部

導入年度

平成18年度