スピンコーター

【用途・特徴】
フォトリソグラフィ工程におけるレジスト等の塗布（スピンコート）

メーカー名

ミカサ株式会社

型番

本体1H-DX2型

仕様

試料ホルダ4インチ角、3インチ○、2インチ○、10ミリ角／設置環境　クリーンルーム（クラス1,000）、イエロールーム、有機溶剤用ドラフト内

ご利用方法

試験計測（依頼試験）、技術開発受託（受託研究）で利用できます

料金について

■ 試験計測（依頼試験）料金

料金についてはお問い合わせください。

高精度フォトリソグラフィ

料金NO.	項目	単位	料金	担当部名
E1191	高精度フォトリソグラフィ	１枚につき	26,070円	電子技術部
E1192	高精度フォトリソグラフィ　１枚増	１枚増すごとに	9,460円	電子技術部

導入年度

平成9年度