電気炉

半導体プロセス／熱処理／酸化／拡散／シンター

メーカー名

光洋リンドバーグ株式会社

型番

272M100

仕様

温度400～1200℃／安定性±0.25℃／均熱長350mm／N₂、O₂、Ar雰囲気／炉心管直径50mm

ご利用方法

機器使用で利用できます

料金について

■ 機器使用料金 （特に表記のない場合は、1時間当たりの料金となります。）

料金NO.	設備機器名	メーカー・型式	使用料	担当部名
E6620	電極形成装置の本体システム	ＫＨエレクトロニクス　特別仕様	18,920円	電子技術部

導入年度

昭和63年度