電気炉
半導体プロセス/熱処理/酸化/拡散/シンター
メーカー名
光洋リンドバーグ株式会社型番
272M100仕様
温度400~1200℃/安定性±0.25℃/均熱長350mm/N2、O2、Ar雰囲気/炉心管直径50mmご利用方法
機器使用で利用できます料金について
導入年度
昭和63年度- この装置に関連するお問い合わせ
- 担当:電子技術部 電子デバイスグループ