電気炉
半導体プロセス/熱処理/酸化/拡散/シンター
メーカー名
光洋リンドバーグ株式会社型番
272M100仕様
温度400~1200℃/安定性±0.25℃/均熱長350mm/N2、O2、Ar雰囲気/炉心管直径50mmご利用方法
機器使用で利用できます料金について
■ 機器使用料金 (特に表記のない場合は、1時間当たりの料金となります。)
料金NO. | 設備機器名 | メーカー・型式 | 使用料 | 担当部名 |
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E6620 | 電極形成装置の本体システム | KHエレクトロニクス 特別仕様 | 18,920円 | 電子技術部 |
導入年度
昭和63年度- この装置に関連するお問い合わせ
- 担当:電子技術部 電子デバイスグループ