薄膜・微小部硬度計

この装置は微小領域の硬さや弾性率を測定する装置です。一般にナノインデンテーション装置と呼ばれています。荷重制御だけでなく変位制御も可能で、一定の押込み深さで測定することができます。測定用の圧子にはダイヤモンド製のバーコビッチ型圧子を用います。