イオンプレーティング装置
【用途・特徴】
金属、合金、酸化物、窒化物の成膜 表面処理
金属、合金、酸化物、窒化物の成膜 表面処理
メーカー名
株式会社昭和真空型番
SIP-700仕様
到達真空度:2×10-5Pa以下基板加熱温度:600℃蒸着用電子銃:3元、10kw高周波電圧:2kwバイアス電圧:3kwバイポーラパルス導入年度
平成14年度- この装置に関連するお問い合わせ
- 担当:電子技術部 電子材料グループ