電子デバイスパラメータ測定システム
半導体デバイスの電気パラメータの測定/半導体デバイスのC-V測定(1MHz)
メーカー名
横河ヒューレット・パッカード株式会社型番
YHP 4063A仕様
直流微小電流測定ユニット(分解能1fA)/直流微小電流測定用電源ユニット/直流電源測定ユニット/直流電圧源ユニット/直流高分解能電圧測定ユニット(分解能10mV)/1MHz容量測定ユニット(分解能1fF)/温度測定ユニット(分解能0.1℃)導入年度
昭和63年度- この装置に関連するお問い合わせ
- 担当:電子技術部 電子材料グループ