マスクアライナ
【用途・特徴】
紫外線により、紫外線に反応する物質(感光性樹脂)に微細パターンを形成します。
紫外線により、紫外線に反応する物質(感光性樹脂)に微細パターンを形成します。
メーカー名
ミカサ株式会社型番
MA-20型仕様
マスク合せ精度2μm/ウエハサイズ3インチ以下ご利用方法
機器使用で利用できます料金について
■ 機器使用料金 (特に表記のない場合は、1時間当たりの料金となります。)
料金NO. | 設備機器名 | メーカー・型式 | 使用料 | 担当部名 |
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E6690 | マスクアライナ | ミカサ MA-20 | 7,590円 | 電子技術部 |
導入年度
平成元年度- この装置に関連するお問い合わせ
- 担当:電子技術部 電子材料グループ