高周波スパッタリング装置
【用途・特徴】
薄膜作成
薄膜作成
メーカー名
小林理化器械株式会社型番
SPF-210仕様
ターゲット径4インチ/逆スパッタ機構付ご利用方法
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導入年度
昭和60年度- この装置に関連するお問い合わせ
- 担当:電子技術部