減圧熱処理装置

【用途・特徴】
減圧下において水素ガス等を導入し、加熱することにより、熱処理を行います。

メーカー名

三栄理研株式会社

型番

特別仕様

仕様

最高加熱温度1000℃／抵抗加熱方式横型炉／ウエハサイズ3インチ以下／導入可能ガス　酸素(O₂)、窒素(N₂)、アルゴン(Ar)、水素(H₂)／クラス1,000クリーンルーム内設置

ご利用方法

試験計測（依頼試験）、技術開発受託（受託研究）で利用できます

料金について

■ 試験計測（依頼試験）料金

料金についてはお問い合わせください。

導入年度

平成元年度