マグネトロンスパッター装置

【用途・特徴】
薄膜製造

メーカー名

日電バリアン株式会社

型番

SPF-210H

仕様

高周波スパッタ

ご利用方法

試験計測（依頼試験）で利用できます

料金について

■ 試験計測（依頼試験）料金

スパッタ成膜

料金NO.	項目	単位	料金	担当部名
E1158	スパッタ成膜	標準１試料当たり	48,950円	電子技術部

導入年度

昭和53年度