非接触ミクロン厚さ測定機
【用途・特徴】
梁や板の部分の厚み及び穴の深さ及び段差を非接触(光学式)で局所的に測定できます。MEMSサンプルの寸法測定に有効。
梁や板の部分の厚み及び穴の深さ及び段差を非接触(光学式)で局所的に測定できます。MEMSサンプルの寸法測定に有効。
メーカー名
ユニオン光学株式会社型番
THS-1仕様
深さ方向測定分解能0.1μm、厚さ測定範囲0~10mm、光学式焦点位置検出方式導入年度
平成10年度- この装置に関連するお問い合わせ
- 担当:電子技術部 電子デバイスグループ