ハイブリッドレーザー顕微鏡


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電子部品など微小な試料の観察や三次元形状を高精度で測定を行う装置です。他の測定法と比べて、光学式評価の特徴である非接触での測定が可能であり、短時間で観察と形状測定を同時に行うことができます。得られた三次元形状から表面粗さなどの様々な計測を行うことや、断面形状を出力して幅や高さなどの計測を行うことができます。

【用途・特徴】
幅や高さの精度が高いことが特徴であり、白色コンフォーカル観察では三次元形状を測定すると同時に焦点深度の深いカラー高精細画像を観察できます。またバイオレットレーザーを用いることで、高分解能観察が行えます。さらに、光干渉測定機能で広視野において高さ測定をナノレベルで行うことや、反射分光膜厚測定機能で観察視野内の透明膜の膜厚分布を評価することができます。
本装置を用いることで、新技術・新材料の開発や故障個所の観察ができ、製造業をはじめとした幅広い分野で利用できます。

メーカー名

レーザーテック株式会社

型番

OPTELICS HYBLID C3M-KIT-S

ご利用方法

試験計測(依頼試験)機器使用技術開発受託(受託研究)で利用できます

料金について

■ 試験計測(依頼試験)料金

ハイブリッドレーザー顕微鏡

料金NO.項目単位料金担当部名
E1145ハイブリッドレーザー顕微鏡1測定1解析につき8,800円電子技術部
E1146ハイブリッドレーザー顕微鏡 1視野追加1視野追加につき4,290円電子技術部

導入年度

平成29年度

導入に関して

本装置は平成29年度に公益財団法人JKAによる補助を受けて導入しました

この機器に関連する事例

  • この装置に関連するお問い合わせ
  • 担当:電子技術部 電子材料グループ