ハイブリッドレーザー顕微鏡

電子部品など微小な試料の観察や三次元形状を高精度で測定を行う装置です。他の測定法と比べて、光学式評価の特徴である非接触での測定が可能であり、短時間で観察と形状測定を同時に行うことができます。得られた三次元形状から表面粗さなどの様々な計測を行うことや、断面形状を出力して幅や高さなどの計測を行うことができます。

【用途・特徴】
幅や高さの精度が高いことが特徴であり、白色コンフォーカル観察では三次元形状を測定すると同時に焦点深度の深いカラー高精細画像を観察できます。またバイオレットレーザーを用いることで、高分解能観察が行えます。さらに、光干渉測定機能で広視野において高さ測定をナノレベルで行うことや、反射分光膜厚測定機能で観察視野内の透明膜の膜厚分布を評価することができます。
本装置を用いることで、新技術・新材料の開発や故障個所の観察ができ、製造業をはじめとした幅広い分野で利用できます。