走査電子顕微鏡(汎用SEM/EDS/LV)[JSM-IT200LA]
タングステンフィラメントタイプの走査電子顕微鏡(SEM)で、CCD画像(光学画像)とSEM像が連動する機能を有し、低倍率(光学)から高倍率観察(SEM)まで、同一の観察視野のまま連続的な観察が可能です(Zeromag機能)。
分解能は高真空モードで3.0nm(30kV)、8.0nm(3kV)、15.0nm(1kV)、低真空モードで4.0nm(30kV)です。
また、導電性の無い物質の観察に適した低真空モード(10~100Pa)での観察や、高真空モードでの観察、エネルギー分散型X線分析装置(EDS)によるホウ素(B)からウラン(U)までの元素分析や観察面の元素マッピングも可能です。
さらに、複数のSEM画像を自動的に重ね合わせ、広範囲の合成画像を作成する機能(モンタージュ機能)を有しており、広範囲のSEM画像を得ることも可能です。
【用途・特徴】
観察可能な最大試料サイズはΦ150mm×48mmtで、比較的大型の試料もそのまま観察することが可能です。
また、異物等の解析を行う場合は、CCD画像による広範囲の観察で異物の存在箇所を特定するとともに、特定した異物について、同一視野の拡大によるSEM観察やEDSによる元素分析を一連の作業で行うことが可能です。
分解能は高真空モードで3.0nm(30kV)、8.0nm(3kV)、15.0nm(1kV)、低真空モードで4.0nm(30kV)です。
また、導電性の無い物質の観察に適した低真空モード(10~100Pa)での観察や、高真空モードでの観察、エネルギー分散型X線分析装置(EDS)によるホウ素(B)からウラン(U)までの元素分析や観察面の元素マッピングも可能です。
さらに、複数のSEM画像を自動的に重ね合わせ、広範囲の合成画像を作成する機能(モンタージュ機能)を有しており、広範囲のSEM画像を得ることも可能です。
【用途・特徴】
観察可能な最大試料サイズはΦ150mm×48mmtで、比較的大型の試料もそのまま観察することが可能です。
また、異物等の解析を行う場合は、CCD画像による広範囲の観察で異物の存在箇所を特定するとともに、特定した異物について、同一視野の拡大によるSEM観察やEDSによる元素分析を一連の作業で行うことが可能です。
メーカー名
日本電子株式会社型番
JSM-IT200LA仕様
分解能(高真空モード) | 3.0 nm (30kV)、8.0 nm (3kV)、15.0 nm (1.0kV) |
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分解能(低真空モード) | 4.0 nm (30kV BED) |
写真倍率 | ×5~300,000 |
電子銃 | Wフィラメント |
加速電圧 | 0.5~30 kV |
低真空圧力設定範囲 | 10~100 Pa |
最大試料寸法 | 150 mm 径 × 48 mm 高さ |
試料ステージ | XY 2軸モーター標準(ユーセントリック式) X : 80 mm Y : 40 mm z : 5~48 mm 傾斜:-10~90° 回転:360° |
画像モード | 二次電子像、REF像、組成像、凹凸像、立体像 |
計測機能 | あり(2点間距離、平行線間隔、角度、直径等) |
EDS分析 | スペクトル分析、線分析、元素マップ |
検出可能元素 | Be~U |
ご利用方法
試験計測(依頼試験)、技術開発受託(受託研究)で利用できます料金について
■ 試験計測(依頼試験)料金
料金についてはお問い合わせください。
導入年度
平成30年度- この装置に関連するお問い合わせ
- 担当:機械・材料技術部 ナノ材料グループ