サファイアＭＥＭＳ素子内の電極膜及び基板の評価

製品概要

サファイアMEMSにより製作されたセンサ素子を用いた隔膜式静電容量式真空計です。ニッケル基合金をセンサダイアフラムとする従来品と比べて小型であり、かつ耐熱性にも優れているという特徴があり、主に半導体製造プロセスや真空凍結乾燥工程などに使用されています。

KISTECの支援内容

センサ素子は圧力を受けて撓( たわ) むダイアフラムとそれを固定する台座部に、それぞれ対抗する電極が微小な距離を置いて配置された構造を持ちます。デバイスの特性を安定化するため、当研究所において基板となるウエハ表面の平坦性の観察、及びデバイス電極に用いられている多層膜金属薄膜構造をX線回折装置により非破壊に評価しました。多層膜作製の実験条件の最適化により、安定した特性を確保することが可能になりました。