透明導電膜のTEM観察事例

単結晶基板上に作製した透明導電膜の結晶性や析出物の有無などを断面方向から観察し、薄膜の構造を明らかにしました。
通常のTEM観察より薄片化しなければ、高分解能観察ができないことから、低エネルギーイオンミリングを使用。

FIB-マイクロプロービング法による試料作製　　→　　低エネルギーイオンミリング　　→　　TEM観察

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このページのご紹介内容は、試験計測（依頼試験）でご利用いただけます。

観察条件および撮影枚数により費用は変わりますので、詳細は担当職員にお問い合わせください。
ご要望に応じて見積書を作成いたします。

料金表（単位欄にメーカー・型式を表記している場合：機器使用料金（特に記載がない限り単位は１時間あたり））

料金NO.	項目	単位（又はメーカー・型式）	料金
K1625	TEM試料調製　FIB-マイクロプロービング法低加速ガリウムイオン	低加速ガリウムイオン仕上げ　１試料につき	112,090円
K1425	TEM試料調製　低エネルギーイオンミリング　（ジェントルミル）	１試料１条件につき	13,530円
K1450	電界放出型分析透過電子顕微鏡（FE-TEM）50万倍を超えて200万倍以下	倍率　 50万倍を超えて200万倍以下　１視野につき	32,340円
K1451	電界放出型分析透過電子顕微鏡（FE-TEM）200万倍を超えるもの	倍率　200万倍を超えるもの　１視野につき	46,970円