高分解能（１nm以下）フォトルミネッセンス測定

半導体中の不純物（ドーピング元素）をスペクトルピーク値から定性分析し、ピーク強度から半定量分析します。

【試験対象】
　シリコン、ガリウム砒素

Arイオンレーザー照射、4.5～５Kの極低温での評価

料金について

料金表番号	試験名	単位	料金
E1070	高分解能（１nm以下）フォトルミネッセンス測定	１試料１条件につき	74,250円

使用する機器について

この試験に使用する機器は以下の通りです。

担当部署

電子技術部　電子材料グループ

分類

海老名本部　試験計測　|　機械機器、電気・電子部品等の性能の評価　|　デバイス・実装