スパッタ成膜

薄膜の種物質(ターゲットという)にアルゴンイオンをぶつけて、その際にたたき出された種物質を基板に堆積することによって薄膜を作製します。

【試験対象】
　電子材料

料金について

料金表番号	試験名	単位	料金
E1158	スパッタ成膜	標準１試料当たり	48,950円

使用する機器について

この試験に使用する機器は以下の通りです。

担当部署

電子技術部　電子システムグループ

分類

海老名本部　試験計測　|　機械機器、電気・電子部品等の性能の評価　|　デバイス・実装