ＥＣＲプラズマエッチング

プラズマを用いるドライエッチング法の一つであり、この場合は、ECR (電子サイクロトロン共鳴)　によりプラズマを発生させます。

【試験対象】
　電子材料

例）GaAsのエッチング等

料金について

料金表番号	試験名	単位	料金
E1190	ＥＣＲプラズマエッチング	標準１試料当たり	49,720円

使用する機器について

この試験に使用する機器は以下の通りです。

担当部署

電子技術部　電子デバイスグループ

分類

海老名本部　試験計測　|　機械機器、電気・電子部品等の性能の評価　|　デバイス・実装