X線光電子分光分析（XPS）

固体表面にX線を照射して光電効果により放出される光電子の運動エネルギー（EK）と強度を測定する手法である。測定したEKから、各軌道における電子の結合エネルギー（EB）を算出することにより、元素分析が可能である。また、注目原子に結合する原子の種類や結合状態によって、EBはわずかに変化する。この変化を測定することにより化学状態分析もできる。なお、XPSの測定深さは数nm程度である。

表面分析、表面局所分析

料金について

料金表番号	試験名	単位	料金
E1882	X線光電子分光分析（簡単なもの)	１試料１ヶ所につき	18,150円
E1884	X線光電子分光分析（簡単なもの)　条件増	１条件増すごとに	8,250円

使用する機器について

この試験に使用する機器は以下の通りです。

担当部署

機械・材料技術部　解析評価グループ

分類

海老名本部　試験計測　|　材料や異物等の材質、成分、元素、物性の分析　　|　固体・表面分析