X線光電子分光分析（走査型・XPS）
固体表面にX線を照射して光電効果により放出される光電子の運動エネルギー（EK）と強度を測定する手法である。測定したEKから、各軌道における電子の結合エネルギー（EB）を算出することにより、元素分析が可能である。また、注目原子に結合する原子の種類や結合状態によって、EBはわずかに変化する。この変化を測定することにより化学状態分析もできる。なお、XPSの測定深さは数nm程度である。
料金について
| 料金表番号 | 試験名 | 単位 | 料金 |
|---|---|---|---|
| E1980 | 微小部X線光電子分光分析 （ワイドスキャンのみ） | １試料１ヶ所につき | 15,840円 |
| E1982 | 微小部X線光電子分光分析 （ワイドおよびナロースキャン） | １試料１ヶ所につき（６元素まで） | 23,540円 |
| E1984 | 微小部X線光電子分光分析（面分析，線分析） | １試料１ヶ所につき（５元素まで） | 24,640円 |
| E1986 | 微小部X線光電子分光分析（深さ方向分析） | １試料１ヶ所につき（６元素まで） | 37,180円 |
| E1990 | 微小部X線光電子分光分析 条件増 | １条件増すごとに | 5,720円 |
| E1992 | 微小部X線光電子分光分析 元素増（１） | １元素増すごとに（E1982,E1984に適用） | 4,950円 |
| E1994 | 微小部X線光電子分光分析 元素増（２） | １元素増すごとに（E1986に適用） | 7,370円 |
使用する機器について
この試験に使用する機器は以下の通りです。
担当部署
機械・材料技術部 解析評価グループ分類
海老名本部 試験計測 | 材料や異物等の材質、成分、元素、物性の分析 | 固体・表面分析- この試験に関連するお問い合わせ
- 担当：機械・材料技術部 解析評価グループ