TEM試料調製 低エネルギーイオンミリング (ジェントルミル)
透過電子顕微鏡(TEM)サンプルのダメージ層除去ならびに薄片化の専用装置です。TEMサンプルがダメージ層に覆われて観察しにくい、厚いため電子線が透過しにくいときなどに、アルゴンイオンビームを照射することで、より良いTEMサンプルを作製することができます。
特徴
・集束イオンビーム装置(FIB)で作製したTEMサンプルのダメージ層を除去することができます。
・試料回転ステージにより、360°全方向から任意の方向でビーム照射が可能です。
・サンプルを薄片化することで、高分解能観察が可能となります。
・加速電圧:100V~2kV
・ビーム入射角度:1~45°
・オシレーション機能:1~120°
・試料サイズ:3mmφメッシュ、FIB用各種メッシュ
特徴
・集束イオンビーム装置(FIB)で作製したTEMサンプルのダメージ層を除去することができます。
・試料回転ステージにより、360°全方向から任意の方向でビーム照射が可能です。
・サンプルを薄片化することで、高分解能観察が可能となります。
・加速電圧:100V~2kV
・ビーム入射角度:1~45°
・オシレーション機能:1~120°
・試料サイズ:3mmφメッシュ、FIB用各種メッシュ
料金について
料金表番号 | 試験名 | 単位 | 料金 |
---|---|---|---|
K1425 | TEM試料調製 低エネルギーイオンミリング (ジェントルミル) | 1試料1条件につき | 13,530円 |
使用する機器について
この試験に使用する機器は以下の通りです。
担当部署
川崎技術支援部 微細構造解析グループ分類
溝の口支所 試験計測 | 微細構造解析分野 | TEM試料調製- この試験に関連するお問い合わせ
- 担当:川崎技術支援部 微細構造解析グループ