TEM試料調製　低エネルギーイオンミリング　（ジェントルミル）

透過電子顕微鏡（TEM）サンプルのダメージ層除去ならびに薄片化の専用装置です。TEMサンプルがダメージ層に覆われて観察しにくい、厚いため電子線が透過しにくいときなどに、アルゴンイオンビームを照射することで、より良いTEMサンプルを作製することができます。

特徴
・集束イオンビーム装置（FIB）で作製したTEMサンプルのダメージ層を除去することができます。
・試料回転ステージにより、360°全方向から任意の方向でビーム照射が可能です。
・サンプルを薄片化することで、高分解能観察が可能となります。

・加速電圧：100V～2kV
・ビーム入射角度：1～45°
・オシレーション機能：1～120°
・試料サイズ：3mmφメッシュ、FIB用各種メッシュ

料金について

料金表番号	試験名	単位	料金
K1425	TEM試料調製　低エネルギーイオンミリング　（ジェントルミル）	１試料１条件につき	13,530円

使用する機器について

この試験に使用する機器は以下の通りです。

担当部署

川崎技術支援部　微細構造解析グループ

分類

溝の口支所　試験計測　|　微細構造解析分野　|　TEM試料調製