TEM試料調製　FIB-リフトアウト法

透過電子顕微鏡（TEM）の観察は、観察対象とするサンプルを約100nm以下の厚さに加工しなければ電子が透過しないことから、観察、分析をすることができません。FIB-リフトアウト法は集束イオンビーム装置（FIB）で観察対象を薄片化した後、マニピュレーターを用いて薄片化サンプルをTEM用メッシュへ固定します。

料金について

料金表番号	試験名	単位	料金
K1620	TEM試料調製　FIB-リフトアウト法	１試料につき	88,440円
K1621	TEM試料調製　FIB-リフトアウト法　条件追加	１条件追加につき	32,120円

担当部署

川崎技術支援部　微細構造解析グループ

分類

溝の口支所　試験計測　|　微細構造解析分野　|　TEM試料調製