TEM試料調製　FIB-マイクロプロービング法　アルゴンイオンミリング

透過電子顕微鏡（TEM）の観察は、観察対象とするサンプルを約100nm以下の厚さに加工しなければ電子が透過しないことから、観察、分析をすることができません。集束イオンビーム装置（FIB）で観察対象を薄片化することにより、TEM試料を作製することができます。また、局所箇所をピンポイントで加工することも可能です。

※最終の仕上げ面は、低加速ガリウムイオン加工後にアルゴンイオンミリングによるクリーニング処理を行います。

料金について

料金表番号	試験名	単位	料金
K1627	TEM試料調製　FIB-マイクロプロービング法　アルゴンイオンミリング	アルゴンイオンミリング仕上げ 　１試料につき	137,500円
K1666	TEM試料調製　FIB-マイクロプロービング法　アルゴンイオンミリング　試料作製のみ	アルゴンイオンミリング仕上げ 　１試料につき（試料作製のみ）	149,380円
K1628	TEM試料調製　FIB-マイクロプロービング法　アルゴンイオンミリング条件追加	アルゴンイオンミリング仕上げ 　１条件追加につき	32,450円

※注）試料作製のみ希望の場合は、TEMによる薄片化の確認作業料金が加算されます。
・K1740　電界放出型透過電子顕微鏡（FE-TEM）による観察（10万倍以下）：18,590円
ご要望に応じて見積書を作成いたします。

担当部署

川崎技術支援部　微細構造解析グループ

分類

溝の口支所　試験計測　|　微細構造解析分野　|　TEM試料調製