レーザーマーキング

分析箇所の特定のため、レーザーマーカーを用いマーキングを行います。
レーザーマーカーは試料表面をCCDカメラで拡大観察しながら、細く絞ったレーザー光を照射し、任意の場所へ簡単にマーキングできる装置です。集束イオンビーム装置（FIB）や走査電子顕微鏡（SEM）の電子像では確認が困難であった変色部位などの特定に、そのマーキング機能は威力を発揮します。

微細加工時の位置確認用マーキングや、多層薄膜基板の表面薄膜除去などにも活用できます。

特徴
・532nmと355nmの2種類のレーザーを切り替えて使用できるため、金属材料、絶縁材料、TFT、などの多種類のサンプルに対応可能。
・対物レンズの倍率を変えることで、異なったサイズ（1μm角～150μm角）のマーキングが行うことができます。

仕様
・レーザー波長：532nmと355nmの2種類（切替式）
・照射ビーム寸法：1μm角～150μm角
・対物レンズ：10×（観察用）、20×、50×、100×

料金について

料金表番号	試験名	単位	料金
K1630	レーザーマーキング	15分以内	2,860円
K1635	レーザーマーキング　追加	追加15分あたり	1,870円

使用する機器について

この試験に使用する機器は以下の通りです。

担当部署

川崎技術支援部　微細構造解析グループ

分類

溝の口支所　試験計測　|　微細構造解析分野　|　集束イオンビーム装置（FIB）