マルチ解析用FIB-SEMによる微小試験片の作製

ナノインデンター用の片持ち試験片(マイクロカンチレバー)をFIBで作製します。

※マイクロカンチレバー法
　幅と高さが数µm程度の五角形の断面形状を有する片持ち試験片(マイクロカンチレバー)をFIBで作製し、試験片の端にナノインデンターで荷重を印加して 破壊試験を実施します。破壊荷重と試験片の寸法から強度や破壊靭性などの機械的特性を測定する手法です。
　最大の特徴は試験片が非常に小さいため、バルク体中の粒子や粒界、表面処理層、腐食部 といった 局所領域の機械的特性を測定できる点です。

料金について

料金表番号	試験名	単位	料金
K1930	マルチ解析用FIB-SEMによる微小試験片の作製　標準	標準的な作製（SEM観察含む）５本につき	193,710円
K1932	マルチ解析用FIB-SEMによる微小試験片の作製　複雑	複雑な作製（SEM観察含む） ５本につき	292,820円
K1935	マルチ解析用FIB-SEMによる微小試験片の作製　条件追加	１条件追加につき	11,880円

※微小試験片の作製のみ、ナノインデンターの費用は別途発生します。

担当部署

川崎技術支援部　微細構造解析グループ

分類

溝の口支所　試験計測　|　微細構造解析分野　|　マルチ解析用集束イオンビーム装置（FIB）