平面イオンミリング法　（小さい試料用）

イオンミリング法は、イオンミリング装置を用いて、サンプルをアルゴンイオンビームで、イオン研磨することにより加工歪の少ないサンプルを作製できます。
特殊ホルダーを使用することで、EBSDなどの平面イオンミリングとしても使用することができます。


・機種名：Ilion+（Gatan社）
・加速電圧：1kV～6kV
・冷却温度：液体窒素冷却、温度調節機構あり
・試料サイズ：担当職員にお問い合わせください。

料金について

料金表番号	試験名	単位	料金
K4240	平面イオンミリング法　（小さい試料用）　　A：容易な試料	１試料につき	11,440円
K4242	平面イオンミリング法　（小さい試料用）　　B：標準的な試料	１試料につき	23,870円
K4244	平面イオンミリング法　（小さい試料用）　　C：複雑な試料	１試料につき	34,320円
K4246	平面イオンミリング法　（小さい試料用）　　D：非常に複雑な試料	１試料につき	44,770円
K4247	平面イオンミリング法　（小さい試料用）　　条件追加	１条件追加につき	5,830円
K4248	平面イオンミリング法　（小さい試料用）　　クライオ	クライオの使用　１試料につき	5,830円

担当部署

川崎技術支援部　微細構造解析グループ

分類

溝の口支所　試験計測　|　試料前処理　|　試料前処理