アッシャー装置

【用途・特徴】
半導体製造プロセス装置/レジストの灰化/表面処理

メーカー名

東京応化工業株式会社

型番

OPM-EM600

仕様

振周波数13.56MHz/発振最大出力500W(オートチューニング)/酸素またはCF₄導入可能/
最大基板サイズ：4インチ、治具を用意いただければ多数枚処理可能です。

ご利用方法

試験計測（依頼試験）、機器使用で利用できます

料金について

■ 試験計測（依頼試験）料金

料金についてはお問い合わせください。

アッシャーによるプラズマ処理

料金NO.	項目	単位	料金	担当部名
E1180	アッシャーによるプラズマ処理	１条件１時間につき	18,040円	電子技術部

■ 機器使用料金 （特に表記のない場合は、1時間当たりの料金となります。）

料金NO.	設備機器名	メーカー・型式	使用料	担当部名
E6880	アッシャー装置	東京応化工業　OPM-EM600	12,650円	電子技術部

導入年度

平成4年度