アッシャーによるプラズマ処理

表面改質、有機物除去

【試験対象】
 CF4プラズマ処理、酸素プラズマ処理

例)レジスト残渣の除去 等

料金について

料金表番号試験名単位料金
E1180アッシャーによるプラズマ処理1条件1時間につき18,040円

使用する機器について

この試験に使用する機器は以下の通りです。

担当部署

電子技術部 電子デバイスグループ

分類

海老名本部 試験計測 | 機械機器、電気・電子部品等の性能の評価 | デバイス・実装
  • この試験に関連するお問い合わせ
  • 担当:電子技術部 電子デバイスグループ