電子線マイクロアナライザ(電界放出型・FE-EPMA)
EPMA(Electron Probe Micro Analyzer)は、細く絞った電子線を試料の表面に走査・照射して、発生するX線、二次電子、反射電子を検出することで微小領域(μm以下)の元素分析や10万倍程度の高倍率な画像を得る装置です。
弊所が保有する装置は電界放射型(Field Emission : FE)の電子銃を備えるFE-EPMAです。FE-EPMAは電子ビームが従来型のEPMAに比べ非常に細く、0.1 ミクロン単位の狭い領域を分析できます。
波長分散型X線分光器(WDS)とエネルギー分散型X線分光器(EDS)を同一のソフトウエアで制御可能なため、両者のメリットが集約されたシームレスな同時分析(WDS/EDSインテグレーションシステム分析)が可能です。
【用途・特徴】
微小領域において高感度の元素分析が可能なこと、金属、セラミックス、樹脂等、様々な材料を対象にできることから、自動車関連、電子部品、産業機器、船舶設備、航空・宇宙、化学、資源エネルギー、地質分野など幅広い分野の故障解析や研究、製品開発等に活用されています。
接点不良、腐食、微小な異物・付着物等の不良解析、めっき・コーティングの膜厚や層構造(断面試料を作製する必要あり)、製品変色等の調査に対応できますので、お気軽にお問い合わせください。
弊所が保有する装置は電界放射型(Field Emission : FE)の電子銃を備えるFE-EPMAです。FE-EPMAは電子ビームが従来型のEPMAに比べ非常に細く、0.1 ミクロン単位の狭い領域を分析できます。
波長分散型X線分光器(WDS)とエネルギー分散型X線分光器(EDS)を同一のソフトウエアで制御可能なため、両者のメリットが集約されたシームレスな同時分析(WDS/EDSインテグレーションシステム分析)が可能です。
【用途・特徴】
微小領域において高感度の元素分析が可能なこと、金属、セラミックス、樹脂等、様々な材料を対象にできることから、自動車関連、電子部品、産業機器、船舶設備、航空・宇宙、化学、資源エネルギー、地質分野など幅広い分野の故障解析や研究、製品開発等に活用されています。
接点不良、腐食、微小な異物・付着物等の不良解析、めっき・コーティングの膜厚や層構造(断面試料を作製する必要あり)、製品変色等の調査に対応できますので、お気軽にお問い合わせください。
メーカー名
日本電子株式会社型番
JXA-iHP200F仕様
加速電圧:1~30 kV/照射電流範囲:1 pA~3 µA/WDX5ch/EDX/分析元素B~U/二次電子分解能:2.5 nm/分析条件二次電子分解能:20 nm(10 kV、10 nA)、50 nm(10 kV、100 nA)/
試料寸法:標準的な試料ホルダを使用する場合、Φ32x15 mm(H)以内となります。特殊なホルダを使用することにより、最大 100 mm x 100 mm x 50 mm(H)まで対応可能です。
ご利用方法
試験計測(依頼試験)、技術開発受託(受託研究)で利用できます料金について
■ 試験計測(依頼試験)料金
電子線マイクロアナライザ観測(FE-EPMA)
料金NO. | 項目 | 単位 | 料金 | 担当部名 |
---|---|---|---|---|
E2570 | 電子線マイクロアナライザ観測(FE-EPMA) | 1ヶ所につき | 29,370円 | 機械・材料技術部 |
E2581 | エネルギー分散型X線分析(EDX)(FE-EPMAによる) | 1ヶ所につき(E2570,E2580に適用) | 7,260円 | 機械・材料技術部 |
E2582 | 表面観察(FE-EPMAによる)1ヶ所増 | 同一試料で1ヶ所増すごとに(E2570,E2580に適用) | 4,510円 | 機械・材料技術部 |
E2590 | 電子線マイクロアナライザ観測(FE-EPMA)追加分析 | 1ヶ所につき(E2570,E2580に適用) | 9,130円 | 機械・材料技術部 |
表面観察(FE-EPMAによる)
料金NO. | 項目 | 単位 | 料金 | 担当部名 |
---|---|---|---|---|
E2580 | 表面観察(FE-EPMAによる) | 1ヶ所につき | 20,350円 | 機械・材料技術部 |
E2581 | エネルギー分散型X線分析(EDX)(FE-EPMAによる) | 1ヶ所につき(E2570,E2580に適用) | 7,260円 | 機械・材料技術部 |
E2582 | 表面観察(FE-EPMAによる)1ヶ所増 | 同一試料で1ヶ所増すごとに(E2570,E2580に適用) | 4,510円 | 機械・材料技術部 |
E2590 | 電子線マイクロアナライザ観測(FE-EPMA)追加分析 | 1ヶ所につき(E2570,E2580に適用) | 9,130円 | 機械・材料技術部 |
導入年度
令和3年度導入に関して
![](/wp/wp-content/themes/KISTEC2019/images/logo/JKA_logo.png)
本装置は令和3年度に公益財団法人JKAによる補助を受けて導入しました
- この装置に関連するお問い合わせ
- 担当:機械・材料技術部 解析評価グループ