電子線マイクロアナライザ（電界放出型・FE-EPMA）

EPMA（Electron Probe Micro Analyzer）は、細く絞った電子線を試料の表面に走査・照射して、発生するX線、二次電子、反射電子を検出することで微小領域（μm以下）の元素分析や10万倍程度の高倍率な画像を得る装置です。
弊所が保有する装置は電界放射型（Field Emission : FE）の電子銃を備えるFE-EPMAです。FE-EPMAは電子ビームが従来型のEPMAに比べ非常に細く、0.1 ミクロン単位の狭い領域を分析できます。
波長分散型X線分光器（WDS）とエネルギー分散型X線分光器（EDS）を同一のソフトウエアで制御可能なため、両者のメリットが集約されたシームレスな同時分析（WDS/EDSインテグレーションシステム分析）が可能です。

【用途・特徴】
微小領域において高感度の元素分析が可能なこと、金属、セラミックス、樹脂等、様々な材料を対象にできることから、自動車関連、電子部品、産業機器、船舶設備、航空・宇宙、化学、資源エネルギー、地質分野など幅広い分野の故障解析や研究、製品開発等に活用されています。
接点不良、腐食、微小な異物・付着物等の不良解析、めっき・コーティングの膜厚や層構造（断面試料を作製する必要あり）、製品変色等の調査に対応できますので、お気軽にお問い合わせください。