アッシャーによるプラズマ処理
表面改質、有機物除去
【試験対象】
CF4プラズマ処理、酸素プラズマ処理
例)レジスト残渣の除去 等
【試験対象】
CF4プラズマ処理、酸素プラズマ処理
例)レジスト残渣の除去 等
料金について
料金表番号 | 試験名 | 単位 | 料金 |
---|---|---|---|
E1180 | アッシャーによるプラズマ処理 | 1条件1時間につき | 18,040円 |
使用する機器について
この試験に使用する機器は以下の通りです。
担当部署
電子技術部 電子デバイスグループ分類
海老名本部 試験計測 | 機械機器、電気・電子部品等の性能の評価 | デバイス・実装- この試験に関連するお問い合わせ
- 担当:電子技術部 電子デバイスグループ