マイクロフォーカスＸ線検査装置

X線透過観察をおこなうことにより、部品等の内部を非破壊で観察することができます。
物質によるX線の透過率の差を利用して部品や材料内部を観察する装置で、空港の手荷物検査や医療用レントゲンと同じ原理です。
マイクロフォーカスX線検査装置はその名前の通り最小焦点寸法が1μmと非常に小さいため、通常のX線透過観察装置より高倍率で非破壊観察することが可能で、主として電子部品の解析に使用されます。

最大試料寸法　　：300mm×250mm
管電圧　　　　　：40～140kV
焦点寸法　　　　：1μm以下
ステージ可動範囲：X方向 300mm, Y方向 250mm, Z方向 250mm
導入年　　　　　：平成11年

料金について

料金表番号	試験名	単位	料金
K1720	マイクロフォーカスＸ線検査装置	30分以内	7,040円
K1725	マイクロフォーカスＸ線検査装置　追加	追加15分あたり	3,080円

使用する機器について

この試験に使用する機器は以下の通りです。

担当部署

川崎技術支援部　太陽電池評価グループ

分類

溝の口支所　試験計測　|　材料解析分野　|　機器分析　マイクロフォーカスX線検査装置（μF-X線）