分析透過電子顕微鏡（FE-TEM/EDS）[EM002BF]

♠数千倍から数百万倍まで、広範囲の倍率で試料の微細構造観察ができます。
♠EDS分析により数nmの分解能で元素分析が行うことができます。
♠電子線回折や暗視野像からは試料の結晶情報が得られます。

特長
♣2台のEDSを搭載することで、X線分析の収集効率と精度が格段に向上し、これまでより短時間に詳細な分析が可能です。
♣従来のEDS分析では困難であった元素の組み合わせでも最新のピーク分離機能により面分析が可能になりました。
♣HAADF-STEM像（高角度散乱暗視野像）での像強度は原子番号の二乗に比例するため、軽い原子と比較して重い原子が選択的に観察できます。

立会い観察分析も可能です。
♦撮影箇所や分析箇所を指定でき、欲しい情報が的確に得られます。
♦データを受取るだけでは得られない多くの情報を得る事ができます。
♦画像データはその場でお渡しできます。